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炭化ケイ素(SiC)

セラミックスの特性

材料特性

炭化ケイ素(SIC)セラミックスはファインセラミックスの中で耐熱性に優れ、高温領域での機械的強度に低下が少なく、共有結合性が強いためファインセラミックスの中では最も硬く、耐摩耗性、さらに耐食性にも優れた材料です。
このような特性を活かしてメカニカルシールやケミカルポンプの軸受に、また高温強度、高温耐食性が要求される半導体や液晶製造装置用部材等に利用されています。
炭化ケイ素(SIC)セラミックスは、高硬度の特性を有するために機械加工が極めて困難な材料です。切削加工、研削加工には多結晶焼結ダイヤモンド工具、単結晶ダイヤモンド工具等の諸種のダイヤモンド工具が多用されています。

炭化ケイ素(SiC)

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